Сенсорика. Современные технологии микро- и наноэлектроники
Сенсорика. Современные технологии микро- и наноэлектроники — В учебном пособии раскрывается технологический аспект сенсорики и приводятся сведения о большом многообразии сенсоров. Отмечается важность нанотехнологического подхода к изготовлению сенсоров. Представлена информация о материалах химических сенсоров, их свойствах и принципах конструирования. Особо выделен технологический акцент получения сложнооксидных сенсоров, которые работают на различных принципах. Приведены примеры приборов, выпускаемых в настоящее время в промышленном масштабе. Описаны некоторые технологии изготовления эффективных наноразмерных сенсорных материалов, в том числе авторский метод приготовления оксидных (резистивных, пьезоэлектрических, магнитных) сенсорных материалов. Приведены данные, полученные автором по технологии изготовления сенсорных материалов. Предназначено для студентов и аспирантов, изучающих курс «Современные технологии микро- и наноэлектроники», а также инженеров, специалистов и ученых, работающих в области технологии сенсоров.
Название: Сенсорика. Современные технологии микро- и наноэлектроники Автор: Патрушева Т. Н. Издательство: Инфра-М, СФУ Год: 2014 Страниц: 272 Формат: PDF Размер: 26,94 Мб ISBN: 978-5-16-006376-8, 978-5-76382491-2 Качество: Отличное Язык: Русский