Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов
Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов — В книге изложены особенности протекания основных процессов (тепло- и массопередачи, химических, переработки сырьевых материалов, кристаллизации и стеклования, моделирования) при получении материалов электронной техники. Описаны технологические процессы получения важнейших полупроводниковых и диэлектрических материалов (в виде монокристаллов, стекла, керамики), используемых в электронной технике.
Название: Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов Автор: Таиров Ю. М., Цветков В. Ф. Издательство: М.: Высшая школа Год: 1990 Страниц: 423 Формат: PDF Размер: 16,07 Мб ISBN: 5-06-001032-5 Качество: Отличное
Предисловие Глава 1. Общая характеристика основных процессов технологии материалов электронной техники § 1.1. Технологический процесс, основные понятия § 1.2. Основные процессы гетерогенных химико-технологических систем Глава 2. Физико-химические основы процессов переработки сырьевых материалов § 2.1. Процессы измельчения и рассеивания твердых тел § 2.2. Основы процессов разделения и очистки Глава 3. Физико-химические основы процессов затвердевания § 3.1. Образование кристаллических зародышей и стеклование § 3.2. Механизм и кинетика роста кристаллов Глава 4. Технология получения монокристаллов полупроводниковых и диэлектрических материалов § 4.1. Получение кристаллов из твердой фазы § 4.2. Получение кристаллов из жидкой фазы § 4.3. Получение кристаллов из газовой фазы § 4.4. Получение профильных монокристаллов § 4.5. Управление технологическими процессами выращивания монокристаллов § 4.6. Технология важнейших монокристаллических материалов Глава 5. Физико-химические основы процессов легирования монокристаллов полупроводниковых и диэлектрических материалов § 5.1. Легирование кристаллов в твердой фазе § 5.2. Легирование кристаллов в процессе выращивания из жидкой фазы § 5.3. Легирование кристаллов в процессе выращивания из газовой фазы § 5.4. Математическое моделирование процессов получения монокристаллов Глава 6. Технология некристаллических материалов § 6.1. Особенности стеклообразного состояния и строение стекла § 6.2. Физико-химические основы стекловарения § 6.3. Основы технологии стеклоизделий § 6.4. Методы получения пленок стекла § 6.5. Особенности получения стекол в условиях микрогравитации § 6.6. Технология важнейших некристаллических материалов Глава 7. Технология керамических и стеклокерамических материалов § 7.1. Основы технологии керамических материалов § 7.3. Технология ситаллов Литература Предметный указатель